HPL/SPL模組采用無鐵芯U型槽直線電機驅(qū)動，平臺行程從100至600mm;平臺采用進口7075#航空鋁經(jīng)一體化加工成型，同時減少因?qū)к壓弯X主體不同的熱膨脹系數(shù)引起的折彎效應；平臺集成具有非常好的線性表現(xiàn)的開放式增量光柵系統(tǒng)，可以提供亞納米級的分辨率、重復性和穩(wěn)定性。穩(wěn)定的光學零位，保障雙向回零的重復性和可靠性。經(jīng)激光干涉議標定補償，可以輕易獲得理想的定位精度。輕松實現(xiàn)您對于高精密定位的要求。該模組擁有優(yōu)良的設計，嚴苛的軸系系統(tǒng)裝配工藝，具有非常高的性能，但成本低，這使得HPL-LM系列 直線模組得以廣泛適用于需要成本效益、精密解決方案的工業(yè)應用，如半導體晶圓檢測、微電子組件測試、取放、DNA測序、激光加工等領域。 同茂直線電機生產(chǎn)廠家研發(fā)的XY Table 或者XY_Z Table由標準單軸精密直線模組構成，可同時對兩臺同茂直線電機進行同步或者單獨控制。
        由于采用標準直線模組進行疊加組合應用，因此可根據(jù)實際需要分別對行程、負載、定位精度、雙向重復定位精度進行選擇，可選范圍寬、組合靈活、成本低等特點，是一款模塊化的直驅(qū)產(chǎn)品實用直線模組。

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