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美慌得一米,國(guó)產(chǎn)直線模組刻蝕機(jī)達(dá)到先進(jìn)水平

文章出處:同茂電子人氣: 發(fā)布時(shí)間:2018/7/26 9:23:51

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,英文Etch,它是半導(dǎo)體制造工,微IC制造工以及微制造工中的一種相當(dāng)重要的步,是與光刻聯(lián)系的形化(pattern)理的一種主要工。隨著微制造工發(fā)展,廣上來(lái),刻成了通過(guò)溶液、反應(yīng)離子或其它機(jī)械方式來(lái)剝離、去除材料的一種統(tǒng)稱,成微加工制造的一種普適叫法。

機(jī)的工作原理可以分干刻、濕刻兩大類。其中濕刻是將硅片浸泡在可以與被刻應(yīng)的化學(xué)液體中,除去不需要的部分,是早期工采用多的方法。不過(guò),濕刻不可避免的會(huì)在刻側(cè)壁形成橫向鉆蝕,無(wú)法很好的控制線寬,所以,在工達(dá)到微米級(jí)以后,生產(chǎn)中更多的是采用沒有液體參與的干刻技術(shù),如直激光刻蝕機(jī)。

激光刻蝕適用與晶硅效率高太陽(yáng)能電池片邊緣絕緣線的刻蝕,設(shè)備一般采用效率高的激光器、大理石加工機(jī)座、自動(dòng)上下料機(jī)構(gòu)、工作平臺(tái)、CCD視覺定位,實(shí)現(xiàn)離線全自動(dòng)封閉式的效率高的太陽(yáng)能電池片的邊緣絕緣刻蝕加工。

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